晶圓輪廓儀可以試用嗎

來源: 發(fā)布時間:2020-08-07

NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應(yīng)用測試案例

測量種類

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基板A Sold Mask 3D形貌、尺寸

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基板A Sold Mask粗糙度

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基板A 綠油區(qū)域3D 形貌

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基板A 綠油區(qū)域 Pad 粗糙度

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基板A 綠油區(qū)域粗糙度

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基板A 綠油區(qū)域 pad寬度

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基板A Trace 3D形貌和尺寸

?

基板B 背面 Pad


NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲

? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)

? 支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC

? 具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點 (移動 + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um)

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動聚焦范圍 : ± 0.3mm

? XY運動速度 **快

粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量。晶圓輪廓儀可以試用嗎

輪廓儀、粗糙度儀、三坐標(biāo)的區(qū)別:

關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀

  輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,比如:汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圓柱表面素線的直線度等參數(shù)。總之,輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,通俗地講,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老國標(biāo)叫光潔度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。

  但是,輪廓儀和粗糙度儀關(guān)系其實挺密切,現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測量一體機(jī),就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測量模塊,這樣既可以測量輪廓尺寸,又可以測量粗糙度,市場上典型產(chǎn)品就是中圖儀器的SJ5701粗糙度輪廓儀。

  在結(jié)構(gòu)上,輪廓儀基本上都是臺式的,而粗糙度儀以手持式的居多,當(dāng)然也有臺式的。 浙江高校輪廓儀擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,**提高加工效率。

滿足您需求的輪廓儀  

使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求  

保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀

耐用性更強, 使用無損 

可操作性:一鍵式操作,操作更簡單,更方便  

智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數(shù)  

個性化: 定制化客戶報告模式 

更好用戶體驗: 迅捷的售后服務(wù),個性化應(yīng)用軟件支持


1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導(dǎo)軌作為直線測量基準(zhǔn),具有穩(wěn)定性好、承載大、**磨損等優(yōu)點,達(dá)到國內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度。  2.高精度光柵尺及進(jìn)口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率,準(zhǔn)確度高,穩(wěn)定性好。(網(wǎng)絡(luò))

強大的輪廓儀光電一體軟件


美國硅谷研發(fā)、中英文自由切換


光機(jī)電一體化軟硬件集成


三維分析處理迅速,結(jié)果實時更新


縮放、定位、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理


自主設(shè)定測量閾值,三維處理自動標(biāo)注


測量模式可根據(jù)需求自由切換


三維圖像支持高清打印


菜單式參數(shù)設(shè)置,一鍵式操作,人機(jī)界面?zhèn)€性直觀


個性化軟件應(yīng)用支持

可進(jìn)行軟件在線升級和遠(yuǎn)程支持服務(wù)


10 年硅谷世界500強研發(fā)經(jīng)驗(BD Medical

Instrument)

光學(xué)測量、軟件系統(tǒng)


岱美儀器將為您提供全程的服務(wù)。

菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲。

輪廓儀的性能

測量模式 :

移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)

樣 品 臺 :

150mm/200mm/300mm 樣品臺(可選配)

XY 平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,傾斜:±5°

可選手動/電動樣品臺

CCD 相機(jī)像素:

標(biāo)配:1280×960

視場范圍:

560×750um(10×物鏡)

具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī)

光學(xué)系統(tǒng):

同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)

光 源:

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦(可選電動聚焦)

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描,拓展達(dá) 10mm )

縱向分辨率 <0.1nm

RMS 重復(fù)性* 0.005nm,1σ

臺階測量** 準(zhǔn)確度 ≤0.75%;重復(fù)性 ≤0.1%,1σ

橫向分辨率 ≥0.35um(100 倍物鏡)

檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD 200到400個共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲,之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。研究所輪廓儀推薦型號

三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測設(shè)備,它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性,又提高了成品的出產(chǎn)效率。晶圓輪廓儀可以試用嗎

輪廓儀對精密加工的意義

現(xiàn)代化高新技術(shù)的飛速發(fā)展離不開硬件設(shè)施和軟件系統(tǒng)的配套支持,在精密加工領(lǐng)域同樣如此,雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產(chǎn)品的“身影”,但是它卻與我們的生活息息相關(guān)。例如在光學(xué)玻璃、集成電路、汽車零部件、機(jī)器人**器件、航空航天材料、****設(shè)備等領(lǐng)域,都需要對加工的成品進(jìn)行檢測,從物體表面光滑到粗糙的參數(shù),其中包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù),作為評定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn)。因此光學(xué)輪廓儀應(yīng)運而生,以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用: 晶圓輪廓儀可以試用嗎

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司一直專注于磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】,是一家儀器儀表的企業(yè),擁有自己**的技術(shù)體系。公司目前擁有專業(yè)的技術(shù)員工,為員工提供廣闊的發(fā)展平臺與成長空間,為客戶提供高質(zhì)的產(chǎn)品服務(wù),深受員工與客戶好評。誠實、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求,也是我們做人的基本準(zhǔn)則。公司致力于打造***的磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)。一直以來公司堅持以客戶為中心、磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)市場為導(dǎo)向,重信譽,保質(zhì)量,想客戶之所想,急用戶之所急,全力以赴滿足客戶的一切需要。