NanoX-8000 3D輪廓測(cè)量主要技術(shù)參數(shù)
3D測(cè)量主要技術(shù)指標(biāo)（1）：
測(cè)量模式： PSI + VSI + CSI
Z軸測(cè)量范圍： 大行程PZT 掃描 （300um 標(biāo)配/500um選配）
10mm 精密電機(jī)拓展掃描
CCD相機(jī)： 1920x1200 高速相機(jī)（標(biāo)配）
干涉物鏡： 2.5X, 5X, 10X（標(biāo)配）, 20X, 50X, 100X(NIKON )
物鏡切換： 5孔電動(dòng)鼻切換 FOV： 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)
Z軸聚焦： 高精密直線平臺(tái)自動(dòng)聚焦
照明系統(tǒng)： 高 效長(zhǎng)壽白光LED + 濾色鏡片電動(dòng)切換（綠色/藍(lán)色）
傾斜調(diào)節(jié)： ±5°電動(dòng)調(diào)節(jié)
橫向分辨率： ≥0.35μm（與所配物鏡有關(guān)）
3D測(cè)量主要技術(shù)指標(biāo)（2）：
垂直掃描速度： PSI : <10s，VSI/CSI：< 38um/s
高度測(cè)量范圍： 0.1nm – 10mm
表面反射率： > 0.5%
測(cè)量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm
準(zhǔn)確度 < 1nm
RMS重復(fù)性 < 0.01nm (1σ)
臺(tái)階高重復(fù)性：0.15nm(1σ)
VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm
準(zhǔn)確度<1%
重復(fù)性<0.1% (1σ，10um臺(tái)階高) NanoX-8000 Z 軸聚焦：100mm行程自動(dòng)聚焦，0.1um移動(dòng)步進(jìn)。晶圓片輪廓儀學(xué)校會(huì)用嗎
輪廓儀、粗糙度儀、三坐標(biāo)的區(qū)別：
關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀
輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品，輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀，比如：汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角（包括倒角位置、倒角尺寸、角度等），圓柱表面素線的直線度等參數(shù)?？傊?，輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測(cè)量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量，通俗地講，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國(guó)標(biāo)叫光潔度），即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。
但是，輪廓儀和粗糙度儀關(guān)系其實(shí)挺密切，現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測(cè)量一體機(jī)，就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測(cè)量模塊，這樣既可以測(cè)量輪廓尺寸，又可以測(cè)量粗糙度，市場(chǎng)上典型產(chǎn)品就是中圖儀器的SJ5701粗糙度輪廓儀。
在結(jié)構(gòu)上，輪廓儀基本上都是臺(tái)式的，而粗糙度儀以手持式的居多，當(dāng)然也有臺(tái)式的。 干涉儀輪廓儀質(zhì)量怎么樣傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié).
我們應(yīng)該如何正確使用輪廓儀？
一、準(zhǔn)備工作
1.測(cè)量前準(zhǔn)備。
2.開啟電腦、打開機(jī)器電源開關(guān)、檢查機(jī)器啟動(dòng)是否正常。
3.擦凈工件被測(cè)表面。
二、測(cè)量
1.將測(cè)針正確、平穩(wěn)、可靠地移動(dòng)在工件被測(cè)表面上。
2.工件固定確認(rèn)工件不會(huì)出現(xiàn)松動(dòng)或者其它因素導(dǎo)致測(cè)針與工件相撞的情況出現(xiàn)
3.在儀器上設(shè)置所需的測(cè)量條件。
4.開始測(cè)量。測(cè)量過(guò)程中不可觸摸工件更不可人為震動(dòng)桌子的情況產(chǎn)生。
5.測(cè)量完畢，根據(jù)圖紙對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析，標(biāo)出結(jié)果，并保存、打印。
超納輪廓儀的主設(shè)計(jì)簡(jiǎn)介:
中組部第十一批“****”****，美國(guó)KLA-Tencor（集成電路行業(yè)檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)的**企業(yè)）***研發(fā)總監(jiān)，干涉測(cè)量技術(shù)**美國(guó)上市公司ADE-Phaseift的總研發(fā)工程師，創(chuàng)造多項(xiàng)干涉測(cè)量數(shù)字化所需的關(guān)鍵算法，在光測(cè)領(lǐng)域發(fā)表23個(gè)美國(guó)專利和35篇學(xué)術(shù)論文3個(gè)研發(fā)的產(chǎn)品獲得大獎(jiǎng)，國(guó)家教育部***批公派研究生,83年留學(xué)美國(guó)。光學(xué)輪廓儀可廣泛應(yīng)用于各類精密工件表面質(zhì)量要求極高的如：半導(dǎo)體、微機(jī)電、納米材料、生物醫(yī)療、精密涂層、科研院所、航空航天等領(lǐng)域。可以說(shuō)只要是微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級(jí)粗糙度、輪廓等參數(shù)的測(cè)量，除了三維光學(xué)輪廓儀，沒(méi)有其它的儀器設(shè)備可以達(dá)到其精度要求。（網(wǎng)絡(luò)）。 NanoX-8000隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石。
輪廓儀的技術(shù)原理
被測(cè)表面(光)與參考面(光)之間的光程差（高度差）形成干涉
移相法(PSI) 高度和干涉相位
f = (2p/l ) 2 h
形貌高度: < 120nm
精度: < 1nm
RMS重復(fù)性: 0.01nm
垂直掃描法
(VSI+CSI)
精度： ?/1000 干涉信號(hào)~光程差位置
形貌高度: nm-mm,
精度: >2nm
干涉測(cè)量技術(shù)：快速靈活、超納米精度、測(cè)量精度不受物鏡倍率影響
以下來(lái)自網(wǎng)絡(luò)：
輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數(shù)值的儀器，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn)。輪廓測(cè)試儀是對(duì)物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測(cè)試與檢驗(yàn)的儀器，作為精密測(cè)量?jī)x器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***。
NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um，定位精度 5um，重復(fù)精度 1um。表面輪廓儀出廠價(jià)
表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富，通常可分為接觸時(shí)和非接觸時(shí)兩種，其中以非接觸式測(cè)量方法為主。晶圓片輪廓儀學(xué)校會(huì)用嗎
表面三維輪廓儀對(duì)精密加工的作用：
一、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性：
通過(guò)光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測(cè)，得出物件的誤差和超差參數(shù)，**提高物件在生產(chǎn)加工時(shí)的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”，造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離，**終導(dǎo)致整個(gè)生產(chǎn)鏈更大的損失。
二、提高效率：
智能化檢測(cè)，全自動(dòng)測(cè)量，檢測(cè)時(shí)只需將物件放置在載物臺(tái)，然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù)，即可一鍵分析批量測(cè)量。擯棄傳統(tǒng)檢測(cè)方法耗時(shí)耗力，精確度低的缺點(diǎn)，**提高加工效率。
三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析：
表面三維輪廓儀可測(cè)量300余種2D、3D參數(shù)，無(wú)論加工的物件使用哪一種評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)，都可以提供***的檢測(cè)結(jié)果作為評(píng)定依據(jù)，可輕松獲取被測(cè)物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數(shù)。
四、穩(wěn)定性強(qiáng)，高重復(fù)性：
儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì)，不受外部環(huán)境影響測(cè)量的準(zhǔn)確性。超精密的Z向掃描模塊和測(cè)量軟件完美結(jié)合，保證高重復(fù)性，將測(cè)量誤差降低到亞納米級(jí)別。 晶圓片輪廓儀學(xué)校會(huì)用嗎
岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司屬于儀器儀表的高新企業(yè)，技術(shù)力量雄厚。公司致力于為客戶提供安全、質(zhì)量有保證的良好產(chǎn)品及服務(wù)，是一家有限責(zé)任公司企業(yè)。以滿足顧客要求為己任；以顧客永遠(yuǎn)滿意為標(biāo)準(zhǔn)；以保持行業(yè)優(yōu)先為目標(biāo)，提供***的磁記錄，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)將以真誠(chéng)的服務(wù)、創(chuàng)新的理念、***的產(chǎn)品，為彼此贏得全新的未來(lái)！