電介質(zhì)成千上萬(wàn)的電解質(zhì)薄膜被用于光學(xué),半導(dǎo)體,以及其它數(shù)十個(gè)行業(yè), 而Filmetrics的儀器幾乎可以測(cè)量所有的薄膜。常見(jiàn)的電介質(zhì)有:二氧化硅 – **簡(jiǎn)單的材料之一, 主要是因?yàn)樗诖蟛糠止庾V上的無(wú)吸收性 (k=0), 而且非常接近化學(xué)計(jì)量 (就是說(shuō),硅:氧非常接近 1:2)。 受熱生長(zhǎng)的二氧化硅對(duì)光譜反應(yīng)規(guī)范,通常被用來(lái)做厚度和折射率標(biāo)準(zhǔn)。 Filmetrics能測(cè)量3nm到1mm的二氧化硅厚度。氮化硅 – 對(duì)此薄膜的測(cè)量比很多電介質(zhì)困難,因?yàn)楣瑁旱嚷释ǔ2皇?:4, 而且折射率一般要與薄膜厚度同時(shí)測(cè)量。 更麻煩的是,氧常常滲入薄膜,生成一定程度的氮氧化硅,增大測(cè)量難度。 但是幸運(yùn)的是,我們的系統(tǒng)能在幾秒鐘內(nèi) “一鍵” 測(cè)量氮化硅薄膜完整特征!可測(cè)量的層數(shù): 通常能夠測(cè)量薄膜堆內(nèi)的三層**薄膜。 在某些情況下,能夠測(cè)量到十幾層。Filmetrics F54膜厚儀值得買
F50 和 F60 的晶圓平臺(tái)提供不同尺寸晶圓平臺(tái)。
F50晶圓平臺(tái)- 100mm用于 2"、3" 和 4" 晶圓的 F50 平臺(tái)組件。
F50晶圓平臺(tái)- 200mm用于 4"、5"、 6" 和 200mm 晶圓的 F50 平臺(tái)組件。
F50晶圓平臺(tái)- 300mm用于 4"、5"、6"、200mm 和 300mm 晶圓的 F50 平臺(tái)組件。
F50晶圓平臺(tái)- 450mmF50 夾盤組件實(shí)用于 4", 5", 6", 200mm, 300mm, 以及450mm毫米晶片。
F50晶圓平臺(tái)- 訂制預(yù)訂 F50 的晶圓平臺(tái),通常在四星期內(nèi)交貨。
F60晶圓平臺(tái)- 200mm用于 4"、5"、6" 和 200mm 晶圓的 F60 平臺(tái)組件。
F60晶圓平臺(tái)- 300mm用于 4"、5"、6"、200mm 和 300mm 晶圓的 F60 平臺(tái)組件。 Filmetrics F3-SX膜厚儀24小時(shí)在線服務(wù)F50-s980測(cè)厚范圍:4μm-1mm;波長(zhǎng):960-1000nm。
F50 系列自動(dòng)化薄膜測(cè)繪Filmetrics F50 系列的產(chǎn)品能以每秒測(cè)繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速的測(cè)繪薄膜厚度。一個(gè)電動(dòng)R-Theta 平臺(tái)可接受標(biāo)準(zhǔn)和客制化夾盤,樣品直徑可達(dá)450毫米。(耐用的平臺(tái)在我們的量產(chǎn)系統(tǒng)能夠執(zhí)行數(shù)百萬(wàn)次的量測(cè)!)
測(cè)繪圖案可以是極座標(biāo)、矩形或線性的,您也可以創(chuàng)造自己的測(cè)繪方法,并且不受測(cè)量點(diǎn)數(shù)量的限制。內(nèi)建數(shù)十種預(yù)定義的測(cè)繪圖案。
不同的 F50 儀器是根據(jù)波長(zhǎng)范圍來(lái)加以區(qū)分的。 標(biāo)準(zhǔn)的 F50是很受歡迎的產(chǎn)品。 一般較短的波長(zhǎng) (例如, F50-UV) 可用于測(cè)量較薄的薄膜,而較長(zhǎng)的波長(zhǎng)則可以用來(lái)測(cè)量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。
F54自動(dòng)化薄膜測(cè)繪Filmetrics F54 系列的產(chǎn)品能以一個(gè)電動(dòng)R-Theta 平臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測(cè)量點(diǎn)以每秒測(cè)繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速的測(cè)繪薄膜厚度, 樣品直徑達(dá)450毫米
可選擇數(shù)十種內(nèi)建之同心圓,矩形,或線性圖案模式,或自行建立無(wú)數(shù)量限制之測(cè)量點(diǎn).*需具備基本電腦技能的任何人可在數(shù)分鐘內(nèi)自行建立配方
F54 自動(dòng)化薄膜測(cè)繪只需聯(lián)結(jié)設(shè)備到您運(yùn)行Windows?系統(tǒng)計(jì)算機(jī)的USB端口, 可在幾分鐘輕松設(shè)置
不同的型號(hào)主要是由厚度和波長(zhǎng)范圍作為區(qū)別。通常較薄的膜需要較短波長(zhǎng)作測(cè)量(如F54-UV) 用來(lái)測(cè)量較薄的膜,而較長(zhǎng)的波長(zhǎng)可以用來(lái)測(cè)量更厚,更粗糙,或更不透明的薄膜 重復(fù)性: 0.1 μm (1 sigma)單探頭* ;0.8 μm (1 sigma)雙探頭*。
Filmetrics 的技術(shù)Filmetrics 提供了范圍***的測(cè)量生物醫(yī)療涂層的方案:支架: 支架上很小的涂層區(qū)域通常需要顯微鏡類的儀器。 我們的 F40 在幾十個(gè)實(shí)驗(yàn)室內(nèi)得到使用,測(cè)量鈍化和/或藥 物輸送涂層。我們有獨(dú)特的測(cè)量系統(tǒng)對(duì)整個(gè)支架表面的自動(dòng)厚度測(cè)繪,只需在測(cè)量時(shí)旋轉(zhuǎn)支架。植入件: 在測(cè)量植入器件的涂層時(shí),不規(guī)則的表面形狀通常是***挑戰(zhàn)。 Filmetrics 提供這一用途的全系列探頭。導(dǎo)絲和導(dǎo)引針: 和支架一樣,這些器械常??梢杂孟?F40 這樣的顯微鏡儀器。導(dǎo)液管和血管成型球囊的厚度:大于 100 微米的厚度和可見(jiàn)光譜不透明性決定了 F20-NIR 是這一用途方面全世界眾多實(shí)驗(yàn)室內(nèi)很受歡迎的儀器。F30測(cè)厚范圍:15nm-70μm;波長(zhǎng):380-1050nm。光干涉膜厚儀實(shí)際價(jià)格
測(cè)量SU-8 其它厚光刻膠的厚度有特別重要的應(yīng)用。Filmetrics F54膜厚儀值得買
FSM 413 紅外干涉測(cè)量設(shè)備
關(guān)鍵詞:厚度測(cè)量,光學(xué)測(cè)厚,非接觸式厚度測(cè)量,硅片厚度,氮化硅厚度,激光測(cè)厚,近紅外光測(cè)厚,TSV, CD, Trench,砷化鎵厚度,磷化銦厚度,玻璃厚度測(cè)量,石英厚度,聚合物厚度, 背磨厚度,上下兩個(gè)測(cè)試頭。Michaelson干涉法,翹曲變形。
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產(chǎn)品名稱:紅外干涉厚度測(cè)量設(shè)備
· 產(chǎn)品型號(hào):FSM 413EC, FSM 413MOT,F(xiàn)SM 413SA DP,F(xiàn)SM413C2C, FSM 8108 VITE C2C
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岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司致力于儀器儀表,以科技創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)***管理的追求。公司自創(chuàng)立以來(lái),投身于磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測(cè)試儀器的批發(fā),是儀器儀表的主力軍。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于把技術(shù)上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對(duì)用戶產(chǎn)品上的貼心,為用戶帶來(lái)良好體驗(yàn)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)創(chuàng)始人陳玲玲,始終關(guān)注客戶,創(chuàng)新科技,竭誠(chéng)為客戶提供良好的服務(wù)。