NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術參數(shù)
3D測量主要技術指標(1):
測量模式: PSI + VSI + CSI
Z軸測量范圍: 大行程PZT 掃描 (300um 標配/500um選配)
10mm 精密電機拓展掃描
CCD相機: 1920x1200 高速相機(標配)
干涉物鏡: 2.5X, 5X, 10X(標配), 20X, 50X, 100X(NIKON )
物鏡切換: 5孔電動鼻切換 FOV: 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)
Z軸聚焦: 高精密直線平臺自動聚焦
照明系統(tǒng): 高 效長壽白光LED + 濾色鏡片電動切換(綠色/藍色)
傾斜調(diào)節(jié): ±5°電動調(diào)節(jié)
橫向分辨率: ≥0.35μm(與所配物鏡有關)
3D測量主要技術指標(2):
垂直掃描速度: PSI : <10s,VSI/CSI:< 38um/s
高度測量范圍: 0.1nm – 10mm
表面反射率: > 0.5%
測量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm
準確度 < 1nm
RMS重復性 < 0.01nm (1σ)
臺階高重復性:0.15nm(1σ)
VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm
準確度<1%
重復性<0.1% (1σ,10um臺階高) 測量模式:移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)。材料表面輪廓儀有哪些品牌
滿足您需求的輪廓儀
使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求
保護性: 非接觸式光學輪廓儀
耐用性更強, 使用無損
可操作性:一鍵式操作,操作更簡單,更方便
智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數(shù)
個性化: 定制化客戶報告模式
更好用戶體驗: 迅捷的售后服務,個性化應用軟件支持
1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導軌作為直線測量基準,具有穩(wěn)定性好、承載大、**磨損等優(yōu)點,達到國內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度。 2.高精度光柵尺及進口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率,準確度高,穩(wěn)定性好。(網(wǎng)絡) 江蘇半導體設備輪廓儀每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊。
輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應用十分***。(來自網(wǎng)絡)
先進的輪廓儀集成模塊
60年世界水平半導體檢測技術研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗
所有的關鍵硬件采用美國、德國、日本等
PI ,納米移動平臺及控制
Nikon,干涉物鏡
NI,信號控制板和Labview64
控制軟件
TMC 隔震平臺
世界先進水平的計算機軟硬件技術平臺
VS2012/64位,.NET/C#/WPF
Intel Xeon 計算機
輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉(zhuǎn)換成電信號,該電信號經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,或放大的實際輪廓曲線,測量結(jié)果通過顯示器輸出,也可由打印機輸出。(來自網(wǎng)絡)
輪廓儀在集成電路的應用:
封**ump測量
視場:72*96(um)物鏡:干涉50X 檢測位置:樣品局部
面減薄表面粗糙度分析
封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析 面粗糙度分析:2D, 3D顯示;線粗糙度分析:Ra, Ry,Rz,…
器件多層結(jié)構(gòu)臺階高 MEMS 器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析
激光隱形切割工藝控制 世界***的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成,**地縮
短了激光槽工藝在線檢測的時間,避免人工操作帶來的一致性,可靠性問題
幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)。
強大的輪廓儀光電一體軟件
美國硅谷研發(fā)、中英文自由切換
光機電一體化軟硬件集成
三維分析處理迅速,結(jié)果實時更新
縮放、定位、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理
自主設定測量閾值,三維處理自動標注
測量模式可根據(jù)需求自由切換
三維圖像支持高清打印
菜單式參數(shù)設置,一鍵式操作,人機界面?zhèn)€性直觀
個性化軟件應用支持
可進行軟件在線升級和遠程支持服務
10 年硅谷世界500強研發(fā)經(jīng)驗(BD Medical
Instrument)
光學測量、軟件系統(tǒng)
岱美儀器將為您提供全程的服務。
輪廓儀可用于Oled 特征結(jié)構(gòu)測量,表面粗糙度,外延片表面缺 陷檢測,硅片外延表面缺 陷檢測。Nano X-2000輪廓儀售后服務傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié).材料表面輪廓儀有哪些品牌
由于在重大工程、工業(yè)裝備和質(zhì)量保證、基礎科研中,儀器儀表都是必不可少的基礎技術和裝備重點,除傳統(tǒng)領域的需求外,新興的智能制造、離散自動化、生命科學、新能源、海洋工程、軌道交通等領域也會產(chǎn)生巨大需求。中國的新型工業(yè)化進程,信息化和工業(yè)化融合的進一步加深,帶動各個工業(yè)領域?qū)τ诖庞涗洠雽w,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)等產(chǎn)品的需求。磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】產(chǎn)品普遍運用于工業(yè)、農(nóng)業(yè)、交通、科技、環(huán)保、**、文教衛(wèi)生、大家生活等各個領域,在旺盛市場需求的帶動下和我國宏觀調(diào)控政策的引導下,我國儀器儀表行業(yè)的發(fā)展有了長足的進步空間。儀器儀表在工業(yè)發(fā)展中具有重要作用,這也使得儀器儀表得到快讀發(fā)展。各行各業(yè)對儀器儀表的市場需求也在不斷提升,銷售企業(yè)正在發(fā)展中尋求技術創(chuàng)新和質(zhì)量提升。儀器儀表的質(zhì)量、性能關系到工業(yè)安全,必須重視。材料表面輪廓儀有哪些品牌
岱美儀器技術服務(上海)有限公司主要經(jīng)營范圍是儀器儀表,擁有一支專業(yè)技術團隊和良好的市場口碑。公司自成立以來,以質(zhì)量為發(fā)展,讓匠心彌散在每個細節(jié),公司旗下磁記錄,半導體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)深受客戶的喜愛。公司從事儀器儀表多年,有著創(chuàng)新的設計、強大的技術,還有一批**的專業(yè)化的隊伍,確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務。岱美儀器技術服務憑借創(chuàng)新的產(chǎn)品、專業(yè)的服務、眾多的成功案例積累起來的聲譽和口碑,讓企業(yè)發(fā)展再上新高。