NanoX-8000輪廓儀的自動化系統(tǒng)主要配置 ：
? XY比較大行程650*650mm
? 支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸
? XY光柵分辨率 0.1um，定位精度 5um，重復(fù)精度
1um
? XY 平臺比較大移動速度：200mm/s
? Z 軸聚焦：100mm行程自動聚焦，0.1um移動步進
? 隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石
? 配置真空臺面
? 配置Barcode 掃描板邊二維碼，可自動識別產(chǎn)品信息
? 主設(shè)備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm
如果想要了解更加詳細的產(chǎn)品信息，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊。湖北晶片輪廓儀
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲
? 一鍵式系統(tǒng)校準
? 支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC
? 具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm
? XY運動速度
**快
如果需要了解更多詳細參數(shù)，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。
我們主要經(jīng)營鍵合機、光刻機、輪廓儀，隔振臺等設(shè)備。 廣東臺積電輪廓儀儀器運用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計，不受外部環(huán)境影響測量的準確性。
隨著時代的發(fā)展，輪廓儀也越來重要了，不少的產(chǎn)品檢測都需要通過輪廓儀進行檢測，***就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應(yīng)用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標(biāo)測量儀器。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動。傳感器的觸針檢測測量儀表的幾何變化，并分別在X和Z方向上對其進行采樣，并將其轉(zhuǎn)換為電信號。電信號被放大和處理，然后轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號并存儲在計算機系統(tǒng)的存儲器中。計算機以數(shù)字方式過濾原始表格的輪廓，分離表面并計算粗糙度分量，測量結(jié)果為計算符號。某個曲線的實際值及其與參考點的坐標(biāo)，或放大的實際輪廓曲線。測量結(jié)果通過顯示器輸出，也可以由打印機輸出。輪廓儀應(yīng)用輪廓儀***用于機械加工、汽車、摩托車、精密五金、精密工具、刀 具、模具、光學(xué)元件等行業(yè)適用于研究機構(gòu)、大學(xué)、計量機構(gòu)和企業(yè)計量室。在汽車，摩托車和制冷行業(yè)，它可以測量活塞，活塞銷，齒輪的總線參數(shù)和汽車，摩托車和壓縮機的閥門柱塞，可以測量各種傾斜部件的參數(shù)。在軸承工業(yè)中，內(nèi)護套環(huán)的密封槽的形狀（角度，倒角R，槽深，槽寬等）；各種滾子軸承的滾子和套圈母線的冠部，角度和對數(shù)曲線；電機軸，圓柱銷，活塞銷，滾針軸承，圓柱滾子軸承。
如何正確使用輪廓儀
準備工作
1.測量前準備。
2.開啟電腦、打開機器電源開關(guān)、檢查機器啟動是否正常。
3.擦凈工件被測表面。
測量
1.將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。
2.工件固定確認工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導(dǎo)致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)
3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件。
4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生。
5.測量完畢，根據(jù)圖紙對結(jié)果進行分析，標(biāo)出結(jié)果，并保存、打印。
輪廓的角度處理:
角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點、交點到直線距離、交點到交點距離、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理：圓心距離、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理：直線度、凸度、LG凸度、對數(shù)曲線
通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測，得出物件的誤差和超差參數(shù)，**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度。
滿足您需求的輪廓儀
使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求
保護性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀
耐用性更強， 使用無損
可操作性:一鍵式操作，操作更簡單，更方便
智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數(shù)
個性化: 定制化客戶報告模式
更好用戶體驗： 迅捷的售后服務(wù)，個性化應(yīng)用軟件支持
1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導(dǎo)軌作為直線測量基準，具有穩(wěn)定性好、承載大、**磨損等優(yōu)點，達到國內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度。 2.高精度光柵尺及進口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率，準確度高，穩(wěn)定性好。（網(wǎng)絡(luò)） 輪廓儀可用于Oled 特征結(jié)構(gòu)測量，表面粗糙度，外延片表面缺 陷檢測，硅片外延表面缺 陷檢測。碳化硅輪廓儀測樣
由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷。湖北晶片輪廓儀
輪廓儀的物鏡知多少?
白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：
表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等）
幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等）
白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng)，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。
因此物鏡是輪廓儀****的部件，
物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求，為了滿足各種精度的需求，需要提供各種物鏡，例如標(biāo)配的10×， 還有2.5×，5×，20×，50×，100×，可選。
不同的鏡頭價格有很大的差別，因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦。
輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用：
晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷，因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測，檢測相應(yīng)的輪廓尺寸。 湖北晶片輪廓儀
岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司主要經(jīng)營范圍是儀器儀表，擁有一支專業(yè)技術(shù)團隊和良好的市場口碑。公司自成立以來，以質(zhì)量為發(fā)展，讓匠心彌散在每個細節(jié)，公司旗下磁記錄，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)深受客戶的喜愛。公司從事儀器儀表多年，有著創(chuàng)新的設(shè)計、強大的技術(shù)，還有一批**的專業(yè)化的隊伍，確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務(wù)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)憑借創(chuàng)新的產(chǎn)品、專業(yè)的服務(wù)、眾多的成功案例積累起來的聲譽和口碑，讓企業(yè)發(fā)展再上新高。