LFS
LFS傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度,直到頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上,并與標(biāo)準(zhǔn)AVI / LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋環(huán)路中,以提高非常低頻率的振動(dòng)隔離。LFS可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。
LFS-3的設(shè)計(jì)、制造和測(cè)試均符合測(cè)量和控制設(shè)備的安全規(guī)定,并滿足EEC指令73/23的相關(guān)要求。系統(tǒng)符合EEC指令89/336(電磁兼容性)
每個(gè)單獨(dú)的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實(shí)際位置并不重要,但它當(dāng)然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub 15插座(診斷插座)連接到傳感器。 測(cè)振傳感器不斷監(jiān)測(cè)振動(dòng),制動(dòng)器根據(jù)這些信號(hào)產(chǎn)生反向力,以保持比較好的隔振狀態(tài)。掃描式電子顯微鏡SEM隔振臺(tái)服務(wù)為先
地板上沒(méi)有AVI產(chǎn)品加速度的數(shù)據(jù)。(圖中橫坐標(biāo)為頻率,縱坐標(biāo)為加速度)
加上AVI產(chǎn)品開(kāi)啟隔振功能后,加速度的數(shù)據(jù)。(圖中橫坐標(biāo)為頻率,縱坐標(biāo)為加速度)
Herz
Low Frequency Sensor (LFS-3)低頻感應(yīng)器
LFS-3性能LFS-3感應(yīng)器測(cè)試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz. 感應(yīng)器直接放到地板上和AVI系列產(chǎn)品連在組成一個(gè)正向循環(huán)可以提高低頻的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列產(chǎn)品。
如果想要了解更多信息請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器。謝謝! 光刻機(jī)隔振臺(tái)質(zhì)保期多久AVI主動(dòng)隔振系統(tǒng)幫助精密儀器在基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究、生產(chǎn)等方面創(chuàng)造穩(wěn)定的測(cè)量和生產(chǎn)環(huán)境。技術(shù)指標(biāo):頻率負(fù)載范圍尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米
隔離:動(dòng)態(tài)(超過(guò)1kHz)
透射率:參見(jiàn)附件曲線10Hz以上的透射率<(-40dB)
矯正力:垂直+/-8N水平+/-4N
靜態(tài)合規(guī)性:大約垂直約12μm/N水平30-40μm/N
比較大負(fù)載:140公斤尺寸:500x600x84毫米
重量:28.5kg
電的安全等級(jí):1個(gè)能量消耗:比較大10W負(fù)載調(diào)整時(shí)20W輸入電壓:115-230VAC+/-10%50-60Hz
超載:顯示屏指示負(fù)載過(guò)重或嚴(yán)重失衡
監(jiān)控信號(hào):示波器上顯示的多路復(fù)用信號(hào)顯示有無(wú)隔離的振動(dòng)水平-*用于診斷目的
前面板顯示菜單:顯示儀器狀態(tài),包括:-高度調(diào)節(jié)-隔離開(kāi)/關(guān)-過(guò)載-運(yùn)輸鎖定-技術(shù)熱線
桌上尺寸:500x600毫米。
***使用AVI系統(tǒng)時(shí),將前面板隔離開(kāi)關(guān)設(shè)置為關(guān)閉(黑色旋鈕熄滅)。打開(kāi)電源。電源指示燈現(xiàn)在將點(diǎn)亮,16個(gè)顯示LED將短暫閃爍。黃色啟用LED將在約2Hz時(shí)閃爍。如果出現(xiàn)劇烈振動(dòng)或把手放在桌面上,部分或全部LED將閃爍。打開(kāi)電源約30秒后,您可以將隔離開(kāi)關(guān)推到打開(kāi)位置(黑色旋鈕進(jìn)入)。黃色LED現(xiàn)在將一直亮起,表示系統(tǒng)正在隔離。
把手輕輕地放在桌面上??赡軙?huì)有一個(gè)或多個(gè)LED亮起,表示過(guò)載。了解在不造成過(guò)載的情況下可以施加多少力。 隔振效率可以達(dá)到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。
TS-300結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)特點(diǎn)和優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)
TS-300的隔離始于0.7 Hz,超過(guò)10Hz時(shí)迅速增加至40dB
缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見(jiàn)的被動(dòng)空氣阻尼方法要好得多
TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性
TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共計(jì)六個(gè)方向的震動(dòng)隔離模式
精確的自動(dòng)高度調(diào)節(jié)機(jī)制即使在負(fù)載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在比較好工作水平
遙控器允許在外部將隔離開(kāi)關(guān)“打開(kāi)”和“關(guān)閉”
如果想要了解更多信息請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器。 LFS-3性能使用測(cè)振儀的H-1檔并有50公斤的重量下測(cè)試的。HERZAN隔振臺(tái)電子太平防震臺(tái)應(yīng)用
勵(lì)磁箱允許將激勵(lì)信號(hào)施加到TS隔離系統(tǒng),以便該系統(tǒng)可以在任何方向上用作振動(dòng)器。掃描式電子顯微鏡SEM隔振臺(tái)服務(wù)為先
5、模塊將放置在腳輪板下。將AVI模塊滑到后傾角板下,使模塊從一側(cè)到另一側(cè)(而不是從前到后)橫跨立柱底面。將它們盡量放在外側(cè),不要碰到腿的側(cè)壁。如果您安裝的是EVO、Supra 25–55、Ultra 55或Neon 40,則每個(gè)隔離模塊的寬度為7.5英寸。在這種情況下,每個(gè)模塊上的電纜端口應(yīng)朝內(nèi),相互朝向。如果您安裝的是Supra 60/VP、Ultra 60或PLUS、Neon 60或NVision 40,則每個(gè)隔離模塊的寬度為11.3英寸。在這種情況下,每個(gè)模塊上的電纜端口應(yīng)朝外,彼此遠(yuǎn)離。
6、再次在AVI模塊頂部滑動(dòng)第二個(gè)安裝板,前后各27.5英寸,兩側(cè)各27英寸,在掃描電鏡腳輪板下方居中。重新連接時(shí),確保AVI模塊和安裝板都不會(huì)與掃描電鏡側(cè)板接觸。確保AVI模塊和安裝板都不與前端或后端的掃描電鏡支架接觸。
7、系統(tǒng)就位后,使用掃描電鏡水平尺降低掃描電鏡,直到其落在安裝板上。抬起水平尺,直到它們向上并離開(kāi)。 掃描式電子顯微鏡SEM隔振臺(tái)服務(wù)為先
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司總部位于中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號(hào)第五層六十五部位,是一家磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣(mài)除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣(mài)除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】的公司。公司自創(chuàng)立以來(lái),投身于磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測(cè)試儀器的批發(fā),是儀器儀表的主力軍。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終以本分踏實(shí)的精神和必勝的信念,影響并帶動(dòng)團(tuán)隊(duì)取得成功。岱美儀器技術(shù)服務(wù)創(chuàng)始人陳玲玲,始終關(guān)注客戶,創(chuàng)新科技,竭誠(chéng)為客戶提供良好的服務(wù)。