NanoX-2000/3000
系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光
垂直掃描干涉測量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗
糙度、表面輪廓、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加
工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。
使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求
保護性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀
耐用性更強， 使用無損
可操作性:一鍵式操作，操作更簡單，更方便
具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存。干涉儀輪廓儀有哪些品牌輪廓儀的主要客戶群體
300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測
集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化
國家重點實驗室
高 效太陽能電池技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化
MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化
新型顯示技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化
超高精密表面工程技術(shù)
輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測量儀器，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣，并轉(zhuǎn)換成電信號，該電信號經(jīng)放大和處理，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中，計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算，測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準(zhǔn)點的坐標(biāo)，或放大的實際輪廓曲線，測量結(jié)果通過顯示器輸出，也可由打印機輸出。（來自網(wǎng)絡(luò)） PSI輪廓儀參數(shù)擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力，精確度低的缺點，**提高加工效率。
新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測量更易負擔(dān)*后，表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今*高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測量技術(shù)包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI)。這就是您需要的解析力每film3D帶有直觀的粗糙度，表面形貌和臺階高度的測量軟件。所有常見如ISO25178所規(guī)范的粗糙度參數(shù)都支持，也包括軟件功能用于形貌分析，如形狀去除和波長過濾，都包含在基film3D軟件。對于更進階的功能，F(xiàn)ilmetrics提供了我們的合作伙伴TrueGage的TrueMap軟件可進一步處理film3D數(shù)據(jù)，這當(dāng)然也與業(yè)界其他標(biāo)準(zhǔn)分析軟件兼容。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能？每film3D都已標(biāo)配自動化X/Y平臺包含tip/tilt功能。以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)每film3D配備了一個10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片，可達％準(zhǔn)確度。另我們還提供具有100nm，2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片。*大視場Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時切換多個物鏡的需要。更進一步減少總體成本。
我們的輪廓儀有什么優(yōu)勢呢
世界先進水平的產(chǎn)品技術(shù)
合理的產(chǎn)品價格
24小時到現(xiàn)場的本地化售后服務(wù)
無償產(chǎn)品技術(shù)培訓(xùn)和應(yīng)用技術(shù)支持
個性化的應(yīng)用軟件服務(wù)支持
合理的保質(zhì)期后產(chǎn)品服務(wù)
更佳的產(chǎn)品性價比和更優(yōu)解決方案
非接觸式輪廓儀（光學(xué)輪廓儀）是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀形貌測量儀器，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。（本段來自網(wǎng)絡(luò)） 200到400個共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲
? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)
? 支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC
? 具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm
? XY運動速度
**快
如果需要了解更多詳細參數(shù)，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。
我們主要經(jīng)營鍵合機、光刻機、輪廓儀，隔振臺等設(shè)備。 由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷。白光干涉輪廓儀可以試用嗎
NanoX-8000的VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm ；準(zhǔn)確度<1% ；重復(fù)性<0.1% (1σ，10um臺階高)。干涉儀輪廓儀有哪些品牌
1.3. 培訓(xùn)計劃
在完成系統(tǒng)布線并開始設(shè)備安裝后，即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能、特點、設(shè)備布置情況和相互之間的關(guān)系等，讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個全 面的認識。
在整個系統(tǒng)驗收前后，安排有關(guān)人員在進行培訓(xùn)。
1.4. 培訓(xùn)形式
公司指派技術(shù)人員向相關(guān)人員講解系統(tǒng)的原理、功能、操作及維修保養(yǎng)要點；
向受訓(xùn)學(xué)員提供和解釋有關(guān)設(shè)計文件及圖紙等資料，使學(xué)員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握；
針對系統(tǒng)的具體操作一一指導(dǎo)，使相關(guān)人員掌握技術(shù)要領(lǐng)；
對學(xué)員提出的問題進行詳細解答；
干涉儀輪廓儀有哪些品牌
岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表，是一家其他型公司。公司業(yè)務(wù)涵蓋磁記錄，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)等，價格合理，品質(zhì)有保證。公司將不斷增強企業(yè)重點競爭力，努力學(xué)習(xí)行業(yè)知識，遵守行業(yè)規(guī)范，植根于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展。在社會各界的鼎力支持下，持續(xù)創(chuàng)新，不斷鑄造高品質(zhì)服務(wù)體驗，為客戶成功提供堅實有力的支持。