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輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人:
邁爾爾遜
1852-1931
美國物理學(xué)家
曾從事光速的精密測量工作
邁克爾遜首倡用光波波長作為長度基準。
1881年,他發(fā)明了一種用以測量微小長度,折射率和光波波長的干涉儀,邁克爾遜干涉儀。
他和美國物理學(xué)家莫雷合作,進行了著 名的邁克爾遜-莫雷實驗,否定了以太de 存在,為愛因斯坦建立狹義相對論奠定了基礎(chǔ)。
由于創(chuàng)制了精密的光學(xué)儀器和利用這些儀器所完成光譜學(xué)和基本度量學(xué)研究,邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學(xué)獎。 包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù),作為評定該物件是否合格的標準。湖北輪廓儀售后服務(wù)
2)共聚焦顯微鏡方法
共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多針 孔盤、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機。LED光源通過多針 孔盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。反射光通過MPD的針 孔減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié),但是在共焦圖像中,通過多針 孔盤的操作濾除模糊細節(jié)(未聚焦),只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此,共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn)。200到400個共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲,之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。 PSI輪廓儀其他高精密儀器輪廓儀可用于:微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷,表面粗糙度。
NanoX-8000輪廓儀的自動化系統(tǒng)主要配置 :
? XY最 大行程650*650mm
? 支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸
? XY光柵分辨率 0.1um,定位精度 5um,重復(fù)精度
1um
? XY 平臺最 大移動速度:200mm/s
? Z 軸聚焦:100mm行程自動聚焦,0.1um移動步進
? 隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石
? 配置真空臺面
? 配置Barcode 掃描板邊二維碼,可自動識別產(chǎn)品信息
? 主設(shè)備尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H) mm
如果想要了解更加詳細的產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。
一、從根源保障物件成品的準確性:
通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測,得出物件的誤差和超差參數(shù),大 大提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”,造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,最終導(dǎo)致整個生產(chǎn)鏈更大的損失。
二、提高效率:
智能化檢測,全自動測量,檢測時只需將物件放置在載物臺,然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù),即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,大 大提高加工效率。 輪廓儀可用于:散熱材料表面粗糙度分析(粗糙度控制),生物、醫(yī)藥新技術(shù),微流控器件。
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲
? 一鍵式系統(tǒng)校準
? 支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC
? 具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產(chǎn)能 : 45s/點 (移動 + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um)
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動聚焦范圍 : ± 0.3mm
? XY運動速度 最快
表面三維微觀形貌測量的意義
在生產(chǎn)中,表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有最直接的影響,而且表面三維評定參數(shù)由于能更全 面,更真實的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較全 面的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,進而確認加工方法的好壞以及設(shè)計要求的合理性,這樣就可以反過來通過知道加工,優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,確保零件使用功能的實現(xiàn)。
表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通??煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主。
白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x.氮化鎵輪廓儀有哪些應(yīng)用
晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程。湖北輪廓儀售后服務(wù)
三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析:
表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數(shù),無論加工的物件使用哪一種評定標準,都可以提供全 面的檢測結(jié)果作為評定依據(jù),可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數(shù)。
四、穩(wěn)定性強,高重復(fù)性:
儀器運用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計,不受外部環(huán)境影響測量的準確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結(jié)合,保證高重復(fù)性,將測量誤差降低到亞納米級別。
三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測設(shè)備,它既保障了生產(chǎn)加工的準確性,又提高了成品的出產(chǎn)效率,滿足用戶對各項2D,3D參數(shù)檢測需求的同時,依然能夠保持高重復(fù)性,高穩(wěn)定性的運行,其對精密加工所產(chǎn)生的的作用是舉足輕重的。 湖北輪廓儀售后服務(wù)
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司致力于儀器儀表,是一家其他型公司。公司業(yè)務(wù)涵蓋磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)等,價格合理,品質(zhì)有保證。公司將不斷增強企業(yè)重點競爭力,努力學(xué)習(xí)行業(yè)知識,遵守行業(yè)規(guī)范,植根于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展。在社會各界的鼎力支持下,持續(xù)創(chuàng)新,不斷鑄造高品質(zhì)服務(wù)體驗,為客戶成功提供堅實有力的支持。