NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作，自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)
? 支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC
? 具備異常報(bào)警，急停等功能，報(bào)警信息可儲(chǔ)存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) （移動(dòng) + 聚焦 + 測(cè)量）（掃描范圍 50um）
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動(dòng)聚焦范圍 ： ± 0.3mm
? XY運(yùn)動(dòng)速度 **快
表面三維微觀形貌測(cè)量的意義
在生產(chǎn)中，表面三維微觀形貌對(duì)工程零件的許多技術(shù)性能的評(píng)家具有**直接的影響，而且表面三維評(píng)定參數(shù)由于能更***，更真實(shí)的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來(lái)越受到重視，因此表面三維微觀形貌的測(cè)量就越顯重要。通過(guò)兌三維形貌的測(cè)量可以比較***的評(píng)定表面質(zhì)量的優(yōu)劣，進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞以及設(shè)計(jì)要求的合理性，這樣就可以反過(guò)來(lái)通過(guò)知道加工，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面，確保零件使用功能的實(shí)現(xiàn)。
表面三位微觀形貌的此類(lèi)昂方法非常豐富，通?？煞譃榻佑|時(shí)和非接觸時(shí)兩種，其中以非接觸式測(cè)量方法為主。
隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石。高精密儀器輪廓儀學(xué)校會(huì)用嗎
輪廓儀的物鏡知多少?
白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理，以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：
表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺(tái)階高度，錐角等）
幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等）
白光干涉系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng)，通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。
因此物鏡是輪廓儀****的部件，
物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求，為了滿足各種精度的需求，需要提供各種物鏡，例如標(biāo)配的10×， 還有2.5×，5×，20×，50×，100×，可選。
不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別，因此需要量力根據(jù)需求選配對(duì)應(yīng)的鏡頭哦。
輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用：
晶圓的IC制造過(guò)程可簡(jiǎn)單看作是將光罩上的電路圖通過(guò)UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過(guò)程，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會(huì)導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷，因此必須對(duì)光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)相應(yīng)的輪廓尺寸。 北京輪廓儀質(zhì)保期多久自動(dòng)聚焦范圍 ： ± 0.3mm。
超納輪廓儀的主設(shè)計(jì)簡(jiǎn)介:
中組部第十一批“****”****，美國(guó)KLA-Tencor（集成電路行業(yè)檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)的**企業(yè)）***研發(fā)總監(jiān)，干涉測(cè)量技術(shù)**美國(guó)上市公司ADE-Phaseift的總研發(fā)工程師，創(chuàng)造多項(xiàng)干涉測(cè)量數(shù)字化所需的關(guān)鍵算法，在光測(cè)領(lǐng)域發(fā)表23個(gè)美國(guó)專(zhuān)利和35篇學(xué)術(shù)論文3個(gè)研發(fā)的產(chǎn)品獲得大獎(jiǎng)，國(guó)家教育部***批公派研究生,83年留學(xué)美國(guó)。光學(xué)輪廓儀可廣泛應(yīng)用于各類(lèi)精密工件表面質(zhì)量要求極高的如：半導(dǎo)體、微機(jī)電、納米材料、生物醫(yī)療、精密涂層、科研院所、航空航天等領(lǐng)域?？梢哉f(shuō)只要是微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級(jí)粗糙度、輪廓等參數(shù)的測(cè)量，除了三維光學(xué)輪廓儀，沒(méi)有其它的儀器設(shè)備可以達(dá)到其精度要求。（網(wǎng)絡(luò)）。
輪廓儀的培訓(xùn)
一、 培訓(xùn)承諾
系統(tǒng)建成后，我公司將為業(yè)主提供為期1天的**培訓(xùn)和技術(shù)資詢(xún)；培訓(xùn)地點(diǎn)可以在我公司，亦或在工程現(xiàn)場(chǎng)；
系統(tǒng)操作及管理人員的培訓(xùn)人數(shù)為10人，由業(yè)主指定，我公司將確保相關(guān)人員正確使用該系統(tǒng)；
1.1. 培訓(xùn)對(duì)象
系統(tǒng)操作及管理人員（培訓(xùn)對(duì)象須具有專(zhuān)業(yè)技術(shù)的技術(shù)人員或?qū)嶋H值班操作人員）；
其他業(yè)主指定的相關(guān)人員。
1.2. 培訓(xùn)內(nèi)容
系統(tǒng)操作使用說(shuō)明書(shū)。
培訓(xùn)課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作、系統(tǒng)的相關(guān)參數(shù)設(shè)定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡(jiǎn)單升級(jí)等，具體內(nèi)容如下：
* 系統(tǒng)文檔解讀；
* 系統(tǒng)的技術(shù)特點(diǎn)、安裝維護(hù)和系統(tǒng)管理方式；
* 系統(tǒng)一般故障排除。
物鏡是輪廓儀****的部件， 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求。
輪廓儀、粗糙度儀、三坐標(biāo)的區(qū)別
關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀
輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品，輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀，比如：汽車(chē)零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角（包括倒角位置、倒角尺寸、角度等），圓柱表面素線的直線度等參數(shù)?？傊?，輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測(cè)量零件表面的磨加工/精車(chē)加工工序的表面加工質(zhì)量，通俗地講，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國(guó)標(biāo)叫光潔度），即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。
關(guān)于三坐標(biāo)測(cè)量輪廓度及粗糙度
三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是不能測(cè)量粗糙度的，至于測(cè)量零件的表面輪廓 ，要視三坐標(biāo)的測(cè)量精度及零件表面輪廓度的要求了，如果你的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)精度比較高，但零件輪廓度要求不可，是可以用三坐標(biāo)來(lái)代替的。一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右，而輪廓儀都在2um以?xún)?nèi)，還有就是三坐標(biāo)可以測(cè)量大尺寸零件的輪廓，因?yàn)樗旋堥T(mén)式三坐標(biāo)和關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo)，而輪廓儀主要是用來(lái)測(cè)量一些小的精密零件輪廓尺寸的，加上粗糙度模塊也可以測(cè)量粗糙度。 NanoX-8000 Z 軸聚焦：100mm行程自動(dòng)聚焦，0.1um移動(dòng)步進(jìn)?；裘窢栞喞獌x服務(wù)為先
但是在共焦圖像中，通過(guò)多***盤(pán)的操作濾除模糊細(xì)節(jié)（未聚焦），只有來(lái)自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī)。高精密儀器輪廓儀學(xué)校會(huì)用嗎
白光干涉輪廓儀對(duì)比激光共聚焦輪廓儀
白光干涉3D顯微鏡：
干涉面成像，
多層垂直掃描
比較好高度測(cè)量精度：< 1nm
高度精度不受物鏡影響
性?xún)r(jià)比好
激光共聚焦3D顯微鏡：
點(diǎn)掃描合成面成像，
多層垂直掃描
Keyence（日本）
比較好高度測(cè)量精度：～10nm
高度精度由物鏡決定，1um精度@10倍
90萬(wàn)-130萬(wàn)
三維光學(xué)輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對(duì)樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高 分辨率的三維測(cè)量，測(cè)量范圍可從納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的表面形貌，臺(tái)階高度，給MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽(yáng)能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個(gè)精確的、價(jià)格合理的計(jì)量方案。（來(lái)自網(wǎng)絡(luò)） 高精密儀器輪廓儀學(xué)校會(huì)用嗎
岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表，是一家其他型的公司。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于為客戶提供良好的磁記錄，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā)，一切以用戶需求為中心，深受廣大客戶的歡迎。公司秉持誠(chéng)信為本的經(jīng)營(yíng)理念，在儀器儀表深耕多年，以技術(shù)為先導(dǎo)，以自主產(chǎn)品為重點(diǎn)，發(fā)揮人才優(yōu)勢(shì)，打造儀器儀表良好品牌。在社會(huì)各界的鼎力支持下，持續(xù)創(chuàng)新，不斷鑄造***服務(wù)體驗(yàn)，為客戶成功提供堅(jiān)實(shí)有力的支持。