TS-140+40
TS-140 +40結合了久經(jīng)考驗的技術特點與優(yōu)雅且用戶友好的設計
這種中型動態(tài)隔振系統(tǒng)非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應用。
在公制（M6 x 25mm）或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設備安裝在隔離的桌面上。
TS-140 +40結合了久經(jīng)考驗的技術***性與優(yōu)雅且用戶友好的設計
TS-140 +40的隔離始于0.7 Hz，超過10Hz后迅速增加至40db
缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多
TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性
TS 140 +40的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式
精確的自動高度調節(jié)機制即使在負載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在比較好工作水平
遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”
用戶友好，實用的操作優(yōu)勢是創(chuàng)新建筑理念的結果
TS-140 +40的高度*84毫米
TS 140 +40的重量*為28.5千克 勵磁箱允許將激勵信號施加到TS隔離系統(tǒng)，以便該系統(tǒng)可以在任何方向上用作振動器。襯底隔振臺應用
LFS控制單元上的每個D-Sub15插座都有4個對應于AVI元件的開關輸出，這些AVI元件以任意4個矩形方向（即平行或直角）放置，不允許其他方向。
面向LFS傳感器的藍色LED直立。將***個AVI元件連接到后面板上的12個D-Sub15插座中的任何一個。使用筆在位置A和D之間滑動開關。
傳感器的位置:
傳感器可以移動到任何所需位置。它可能位于負載下方或外部，但必須位于支持AVI元件的同一表面上。連接后，傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。
支承面剛度:
支承面的剛度很重要。水平傳感器無法區(qū)分水平加速度和傾斜。因此，LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅硬，以便在附近移動時不會明顯傾斜。傾斜將導致傳感器輸出飽和，隔離將失效。 半導體隔振臺供應商家AVI 400-M緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。
關鍵詞：主動式隔震臺、主動式隔振臺、主動式防振臺、防振臺、AVI、Herz、Tablestable、
·AVI系列振動傳遞率
橫坐標為頻率，縱坐標為傳遞率的數(shù)據(jù)，在10hz頻率以上時，傳遞率的數(shù)據(jù)小于0.02，很好地起到了隔振作用。
AVI承載不同重量時不同方向上振動衰減的數(shù)據(jù)（實驗室實驗數(shù)據(jù)）
垂直方向上的振動傳遞衰減，在承重時10hz的頻率以上時，比較大可以達到40dB的衰減。隔振效率可以達到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。
AVI400-S
AVI 400-S的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元，比較大負載為800公斤。通過增加緊湊型模塊的數(shù)量，可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。為了使AVI400-S適應用戶特定的應用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。
AVI 400-S的隔離始于1,2 Hz，超過10HZ以上迅速增加至35 db
減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能
AVI 400-S系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性
AVI 400-S的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式
AVI 400-S緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單，友好的概念-因此，在裝置上放置沉重的設備（例如SEM）時，避免了任何復雜的過程。
技術指標：
頻率： 1,2-200 Hz
負載范圍： 0-800公斤
（單個）： 400公斤 使用D-Sub 15M-F電纜將T-Box連接到TS的背面。無需單獨的電源。通過模式開關可以選擇不同的激勵方向。
1、使用2 mm內六角扳手（包括在內）拆下模塊端板。
2、根據(jù)掃描電鏡的重量調整模塊。
在每個中心柱上的橫梁上方和下方應該有一個間隙，允許每側大約有2mm的行程。
B、使用M6活動扳手（包括）轉動位于支撐彈簧頂部的調整螺母。向右轉動扳手可降低模塊并增加上部間隙（在**止動螺母和橫撐之間）。向左轉動扳手可升高模塊并減小上部間隙。
C、計算每個螺母的圈數(shù)；盡可能均勻地調整所有螺母。并非所有中心柱上的間隙都完全相同。
D、不要轉動螺母太遠，否則可能損壞系統(tǒng)。在任何情況下，外露螺紋不得超過10mm
3.裝回模塊上的端板 LFS-3感應器測試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz。晶圓片隔振臺代理商
Table Stable通過主動控制沒有共振點，可以防止低頻范圍的振動。襯底隔振臺應用
TS-150
TS-150結合了久經(jīng)考驗的技術特點和優(yōu)雅且用戶友好的設計
TS 150的隔離頻率始于0.7 Hz，超過10Hz時迅速增加至40db
缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多
TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性
TS 150的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式
精確的**于載荷的自動高度調節(jié)機構即使在載荷發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在比較好工作水平
遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”
頻率：0,7-1000 Hz
負載范圍：0-150公斤
尺寸 ：400 x 450 x 78.5 毫米
TS-150結合了久經(jīng)考驗的技術***性和優(yōu)雅且用戶友好的設計。TS 150的隔離頻率始于0.7 Hz，超過10Hz時迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多。
TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性。TS 150的出色性能包括所有六個平移和旋轉振動模式精確的**于載荷的自動高度調節(jié)機構即使在載荷發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在比較好工作水平。遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”用戶友好，實用的操作優(yōu)勢是創(chuàng)新建筑理念的結果。
TS-150的高度*為78.5毫米
TS-150的重量*為17.5千克 襯底隔振臺應用
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