晶圓隔振臺特點

來源: 發(fā)布時間:2021-03-02

TS-140 +40結(jié)合了久經(jīng)考驗的技術(shù)***性與優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計

TS-140 +40的隔離始于0.7 Hz,超過10Hz后迅速增加至40db

缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多

TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性

TS 140 +40的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式

精確的自動高度調(diào)節(jié)機制即使在負載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在比較好工作水平

遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉”

用戶友好,實用的操作優(yōu)勢是創(chuàng)新建筑理念的結(jié)果

TS-140 +40的高度*84毫米

TS 140 +40的重量*為28.5千克 TS-140的高度*為84毫米。晶圓隔振臺特點

使用AVI系統(tǒng)時,系統(tǒng)只能插入單獨接地的插座。無論是在插座處,還是使用未接地的延長電纜,都不要斷開此接地。如果您懷疑系統(tǒng)以任何方式不安全,請拔下插頭并防止任何可能的意外使用。聯(lián)系**近的服務(wù)中心。在打開此設(shè)備之前,請確保它連接到正確的電源電壓。不要取下任何蓋子或讓任何金屬物體進入通風槽。在取下任何蓋子之前,斷開電源。請向合格人員咨詢服務(wù)。不要在可能的環(huán)境中使用。保險絲位于控制單元后側(cè)的電源插座中。未先拔下電源線,不要試圖更換保險絲。只能更換類型正確的保險絲。不要試圖繞過保險絲。確??刂茊卧械耐L縫沒有被覆蓋,并且空氣可以自由循環(huán)。堵塞狹縫可能導致過熱,從而引發(fā)火災(zāi)。對于控制單元和隔離元件之間的連接,*使用提供的D-Sub 15電纜(m/f)。高靈敏度的實驗設(shè)備隔振臺推薦產(chǎn)品隔振效率可以達到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。

傳感器位置

傳感器可以移動到任何期望的位置。 它可能位于負載下方或外部,但必須位于支持AVI元素的同一表面上。 制作后連接時,傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。


支撐面的剛性

支撐表面的剛性很重要。 水平傳感器無法區(qū)分在水平加速度和傾斜之間。 LFS和因此,AVI元素所在的位置必須盡可能堅硬,以使其不會明顯傾斜當人們在附近移動時。 傾斜會導致傳感器輸出飽和并失去隔離。


運作方式

設(shè)置好并將電源連接到傳感器后,就可以使用系統(tǒng)了。按下電源上的電源旋鈕打開電源。 綠色LED將點亮。 紅色LED開始閃爍,這意味著存在一些振動?,F(xiàn)在,您可以通過按啟用按鈕來啟用系統(tǒng)。 紅色LED不應(yīng)點亮了。 如果它們點亮,則表示系統(tǒng)過載且振動建筑物中存在的物體太嚴重。


請注意,如果未啟用LFS,則它將無效。


敏感的傳感器單元,請勿撞擊,敲打或跌落!


AVI-產(chǎn)品參數(shù):AVI-200系列(負載:**多800kg)

型號:AVI-200SLP,AVI-200MLP,AVI-200XLP

系統(tǒng)形狀:控制器與防振單元分離型

主動控制范圍:被動隔振范圍200Hz以上

確認防振狀態(tài):使用控制器背面的BNC連接器,外部連接前面的8個LED指示防振狀態(tài)

尺寸:120×396×130×636×130×856×

控制器尺寸:241×287×142毫米

承重:400kg

單位重量:約9kg

聯(lián)絡(luò)我們

電源電壓:95-240VAC50-60赫茲

耗電量:普通9W

工作溫度范圍:5℃?40℃

工作濕度范圍:10?90%(5?30℃)?10?60%(30?40℃)

可選零件(1)裝載板,石板,鑄鐵板*另行咨詢選裝(2)高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨咨詢。 安裝好后參數(shù)不需要調(diào)整。

桌面必須足夠堅硬,以防止兩個隔離單元繞其長水平軸相對旋轉(zhuǎn)。蜂窩狀墊板或30mm厚的鋁板效果比較好,但可以使用石板甚至實木板。有關(guān)連接孔的位置,將電纜連接至隔離裝置的兩側(cè)。附加裝置通常與***個裝置平行放置,但這并非***必要。但是,必須特別注意桌面的正確連接,如下所述。注意,也可以將隔離裝置直接連接到所支持的設(shè)備上。在這種情況下,剛性安裝是***必要的。我們很樂意為您提供比較好安裝方法的建議。

如果想要了解更多信息請聯(lián)系我們岱美儀器。 在過去的40年,HERZ發(fā)展成為被動式隔振設(shè)備的領(lǐng)頭供應(yīng)商 ,并在此領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗。歐洲隔振臺激光設(shè)備主動防震應(yīng)用

HERZ在被動式隔振系統(tǒng)產(chǎn)品之外,補充了由瑞士Table Stable Ltd.開發(fā)的先進主動式隔振系統(tǒng)。晶圓隔振臺特點

該系統(tǒng)的固有剛度比1

Hz諧振無源隔離器的固有剛度大25倍,可提供出色的方向和位置穩(wěn)定性。

有源隔離系統(tǒng)的特性通常表現(xiàn)為幾乎沒有低頻共振,這種共振困擾著所有無源隔離系統(tǒng)。


該系統(tǒng)的設(shè)計即使在低至2-3Hz的頻率下也能提供出色的隔離度,在該頻率下,許多建筑物由于繞垂直軸的振蕩而顯示出較大的水平振幅。隔離從大約0.7Hz開始,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。


所有控制電路都內(nèi)置在該單元**耗小于2.5W。該設(shè)備具有通用輸入,可以連接到100至240 VAC的任何交流電源。優(yōu)化設(shè)計以實現(xiàn)對諸如掃描探針顯微鏡(AFM, STM),干涉儀和其他高 分辨率儀器,從而使這些儀器能夠達到**終的性能。事實證明,該表在支持靈敏實驗(例如膜片鉗,顯微注射或用于測量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽)方面非常成功。 晶圓隔振臺特點

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