F50 系列
包含的內容:集成光譜儀/光源裝置光纖電纜4", 6" and 200mm 參考晶圓TS-SiO2-4-7200 厚度標準BK7 參考材料整平濾波器 (用于高反射基板)真空泵備用燈
型號 厚度范圍*波長范圍
F50:20nm-70μm 380-1050nm
F50-UV:5nm-40μm 190-1100nm
F50-NIR:100nm-250μm 950-1700nm
F50-EXR:20nm-250μm 380-1700nm
F50-UVX:5nm-250μm 190-1700nm
F50-XT:0.2μm-450μm 1440-1690nm
F50-s980:4μm-1mm 960-1000nm
F50-s1310:7μm-2mm 1280-1340nm
F50-s1550:10μm-3mm 1520-1580nm
額外的好處:每臺系統(tǒng)內建超過130種材料庫, 隨著不同應用更超過數百種應用工程師可立刻提供幫助(周一 - 周五)網上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯網)硬件升級計劃 F40-UV范圍:4nm-40μm,波長:190-1100nm。研究所膜厚儀有哪些應用
F3-sX 系列:
F3-sX 系列能測量半導體與介電層薄膜厚度到3毫米,而這種較厚的薄膜與較薄的薄膜相比往往粗糙且均勻度較為不佳
波長選配F3-sX系列使用近紅外光來測量薄膜厚度,即使有許多肉眼看來不透光(例如半導體)。 F3-s980 是波長為980奈米的版本,是為了針對成本敏銳的應用而設計,F3-s1310是針對重摻雜硅片的**jia化設計,F3-s1550則是為了**厚的薄膜設計。附件附件包含自動化測繪平臺,一個影像鏡頭可看到量測點的位置以及可選配可見光波長的功能使厚度測量能力**薄至15奈米。 Profilm3D膜厚儀要多少錢可測量的層數: 通常能夠測量薄膜堆內的三層**薄膜。 在某些情況下,能夠測量到十幾層。
自動厚度測量系統(tǒng)幾乎任何形狀的樣品厚度和折射率的自動測繪。人工加載或機器人加載均可。
在線厚度測量系統(tǒng)監(jiān)測控制生產過程中移動薄膜厚度。高達100 Hz的采樣率可以在多個測量位置得到。
附件Filmetrics 提供各種附件以滿足您的應用需要。
F20 系列世界上****的臺式薄膜厚度測量系統(tǒng)只需按下一個按鈕,您在不到一秒鐘的同時測量厚度和折射率。設置同樣簡單, 只需插上設備到您運行Windows?系統(tǒng)計算機的USB端口, 并連接樣品平臺 , F20已在世界各地有成千上萬的應用被使用. 事實上,我們每天從我們的客戶學習更多的應用.
選擇您的F20主要取決於您需要測量的薄膜的厚度(確定所需的波長范圍)
電介質成千上萬的電解質薄膜被用于光學,半導體,以及其它數十個行業(yè), 而Filmetrics的儀器幾乎可以測量所有的薄膜。常見的電介質有:二氧化硅 – **簡單的材料之一, 主要是因為它在大部分光譜上的無吸收性 (k=0), 而且非常接近化學計量 (就是說,硅:氧非常接近 1:2)。 受熱生長的二氧化硅對光譜反應規(guī)范,通常被用來做厚度和折射率標準。 Filmetrics能測量3nm到1mm的二氧化硅厚度。氮化硅 – 對此薄膜的測量比很多電介質困難,因為硅:氮比率通常不是3:4, 而且折射率一般要與薄膜厚度同時測量。 更麻煩的是,氧常常滲入薄膜,生成一定程度的氮氧化硅,增大測量難度。 但是幸運的是,我們的系統(tǒng)能在幾秒鐘內 “一鍵” 測量氮化硅薄膜完整特征!F20測厚范圍:15nm - 70μm;波長:380-1050nm。
1、激光測厚儀是利用激光的反射原理,根據光切法測量和觀察機械制造中零件加工表面的微觀幾何形狀來測量產品的厚度,是一種非接觸式的動態(tài)測量儀器。它可直接輸出數字信號與工業(yè)計算機相連接,并迅速處理數據并輸出偏差值到各種工業(yè)設備。2、X射線測厚儀利用X射線穿透被測材料時,X射線的強度的變化與材料的厚度相關的特性,滄州歐譜從而測定材料的厚度,是一種非接觸式的動態(tài)計量儀器。它以PLC和工業(yè)計算機為**,采集計算數據并輸出目標偏差值給軋機厚度控制系統(tǒng),達到要求的軋制厚度。主要應用行業(yè):有色金屬的板帶箔加工、冶金行業(yè)的板帶加工。3、紙張測厚儀:適用于4mm以下的各種薄膜、紙張、紙板以及其他片狀材料厚度的測量。4、薄膜測厚儀:用于測定薄膜、薄片等材料的厚度,測量范圍寬、測量精度高,具有數據輸出、任意位置置零、公英制轉換、自動斷電等特點。5、涂層測厚儀:用于測量鐵及非鐵金屬基體上涂層的厚度.6、超聲波測厚儀:超聲波測厚儀是根據超聲波脈沖反射原理來進行厚度測量的,當探頭發(fā)射的超聲波脈沖通過被測物體到達材料分界面時,脈沖被反射回探頭,通過精確測量超聲波在材料中傳播的時間來確定被測材料的厚度。紫外光可測試的深度:***的薄膜(SOI 或 Si-SiGe)或者厚樣的近表面局部應力。授權膜厚儀售后服務
F50-s980測厚范圍:4μm-1mm;波長:960-1000nm。研究所膜厚儀有哪些應用
F60 系列生產環(huán)境的自動測繪Filmetrics F60-t 系列就像我們的 F50產品一樣測繪薄膜厚度和折射率,但它增加了許多用于生產環(huán)境的功能。 這些功能包括凹槽自動檢測、自動基準確定、全封閉測量平臺、預裝軟件的工業(yè)計算機,以及升級到全自動化晶圓傳輸的機型。
不同的 F60-t 儀器根據波長范圍加以區(qū)分。 較短的波長 (例如, F60-t-UV) 一般用于測量較薄的薄膜,而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。
包含的內容:集成平臺/光譜儀/光源裝置(不含平臺)4", 6" and 200mm 參考晶圓TS-SiO2-4-7200 厚度標準真空泵備用燈 研究所膜厚儀有哪些應用
岱美儀器技術服務(上海)有限公司主要經營范圍是儀器儀表,擁有一支專業(yè)技術團隊和良好的市場口碑。公司自成立以來,以質量為發(fā)展,讓匠心彌散在每個細節(jié),公司旗下磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發(fā)深受客戶的喜愛。公司秉持誠信為本的經營理念,在儀器儀表深耕多年,以技術為先導,以自主產品為重點,發(fā)揮人才優(yōu)勢,打造儀器儀表良好品牌。岱美儀器技術服務立足于全國市場,依托強大的研發(fā)實力,融合前沿的技術理念,飛快響應客戶的變化需求。