關(guān)于三坐標(biāo)測(cè)量輪廓度及粗糙度
三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是不能測(cè)量粗糙度的，至于測(cè)量零件的表面輪廓 ，要視三坐標(biāo)的測(cè)量精度及零件表面輪廓度的要求了，如果你的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)精度比較高，但零件輪廓度要求不可，是可以用三坐標(biāo)來(lái)代替的。一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右，而輪廓儀都在2um以內(nèi)，還有就是三坐標(biāo)可以測(cè)量大尺寸零件的輪廓，因?yàn)樗旋堥T式三坐標(biāo)和關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo)，而輪廓儀主要是用來(lái)測(cè)量一些小的精密零件輪廓尺寸的，加上粗糙度模塊也可以測(cè)量粗糙度。 支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC。ADE輪廓儀服務(wù)為先
輪廓儀的物鏡知多少?
白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理，以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：
表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺(tái)階高度，錐角等）
幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等）
白光干涉系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng)，通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。
因此物鏡是輪廓儀****的部件，
物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求，為了滿足各種精度的需求，需要提供各種物鏡，例如標(biāo)配的10×， 還有2.5×，5×，20×，50×，100×，可選。
不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別，因此需要量力根據(jù)需求選配對(duì)應(yīng)的鏡頭哦。 中科院輪廓儀代理價(jià)格反射光通過(guò)MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上。
輪廓儀的主要客戶群體
300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測(cè)
集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化
國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
高 效太陽(yáng)能電池技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化
MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化
新型顯示技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化
超高精密表面工程技術(shù)
輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器，儀器傳感器相對(duì)被測(cè)工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測(cè)表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣，并轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，該電信號(hào)經(jīng)放大和處理，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中，計(jì)算機(jī)對(duì)原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算，測(cè)量結(jié)果為計(jì)算出的符介某種曲線的實(shí)際值及其離基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo)，或放大的實(shí)際輪廓曲線，測(cè)量結(jié)果通過(guò)顯示器輸出，也可由打印機(jī)輸出。（來(lái)自網(wǎng)絡(luò)）
如何正確使用輪廓儀
準(zhǔn)備工作
1.測(cè)量前準(zhǔn)備。
2.開(kāi)啟電腦、打開(kāi)機(jī)器電源開(kāi)關(guān)、檢查機(jī)器啟動(dòng)是否正常。
3.擦凈工件被測(cè)表面。
測(cè)量
1.將測(cè)針正確、平穩(wěn)、可靠地移動(dòng)在工件被測(cè)表面上。
2.工件固定確認(rèn)工件不會(huì)出現(xiàn)松動(dòng)或者其它因素導(dǎo)致測(cè)針與工件相撞的情況出現(xiàn)
3.在儀器上設(shè)置所需的測(cè)量條件。
4.開(kāi)始測(cè)量。測(cè)量過(guò)程中不可觸摸工件更不可人為震動(dòng)桌子的情況產(chǎn)生。
5.測(cè)量完畢，根據(jù)圖紙對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析，標(biāo)出結(jié)果，并保存、打印。
輪廓的角度處理:
角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點(diǎn)線處理：兩直線交點(diǎn)、交點(diǎn)到直線距離、交點(diǎn)到交點(diǎn)距離、交點(diǎn)到圓心距離、交點(diǎn)到點(diǎn)距離圓處理：圓心距離、圓心到直線的距離、交點(diǎn)到圓心的距離、直線到切點(diǎn)的距離線處理：直線度、凸度、LG凸度、對(duì)數(shù)曲線
NanoX-8000的VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm ；準(zhǔn)確度<1% ；重復(fù)性<0.1% (1σ，10um臺(tái)階高)。
NanoX-系列輪廓儀代 表性客戶
? 集成電路相關(guān)產(chǎn)業(yè)
– 集成電路先進(jìn)封裝和材料：華天科技，通富微電子，江蘇納佩斯
半導(dǎo)體，華潤(rùn)安盛等
? MEMS相關(guān)產(chǎn)業(yè)
– 中科院蘇州納米所，中科電子46所，華東光電集成器件等
? 高 效太陽(yáng)能電池相關(guān)產(chǎn)業(yè)
– 常州億晶光電，臺(tái) 灣速位科技、山東衡力新能源等
? 微電子、FPD、PCB等產(chǎn)業(yè)
– 三星電機(jī)、京東方、深圳夏瑞科技等
具備 Global alignment & Unit alignment
自動(dòng)聚焦范圍 ： ± 0.3mm
XY運(yùn)動(dòng)速度 **快
如果有什么問(wèn)題，請(qǐng)聯(lián)系我們。
儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì)，不受外部環(huán)境影響測(cè)量的準(zhǔn)確性。碳化硅輪廓儀干涉測(cè)量應(yīng)用
表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富，通?？煞譃榻佑|時(shí)和非接觸時(shí)兩種，其中以非接觸式測(cè)量方法為主。ADE輪廓儀服務(wù)為先
三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析：
表面三維輪廓儀可測(cè)量300余種2D、3D參數(shù)，無(wú)論加工的物件使用哪一種評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)，都可以提供全 面的檢測(cè)結(jié)果作為評(píng)定依據(jù)，可輕松獲取被測(cè)物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數(shù)。
四、穩(wěn)定性強(qiáng)，高重復(fù)性：
儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì)，不受外部環(huán)境影響測(cè)量的準(zhǔn)確性。超精密的Z向掃描模塊和測(cè)量軟件完美結(jié)合，保證高重復(fù)性，將測(cè)量誤差降低到亞納米級(jí)別。
三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測(cè)設(shè)備，它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性，又提高了成品的出產(chǎn)效率，滿足用戶對(duì)各項(xiàng)2D，3D參數(shù)檢測(cè)需求的同時(shí)，依然能夠保持高重復(fù)性，高穩(wěn)定性的運(yùn)行，其對(duì)精密加工所產(chǎn)生的的作用是舉足輕重的。 ADE輪廓儀服務(wù)為先
岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表，是一家其他型的公司。公司自成立以來(lái)，以質(zhì)量為發(fā)展，讓匠心彌散在每個(gè)細(xì)節(jié)，公司旗下磁記錄，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā)深受客戶的喜愛(ài)。公司從事儀器儀表多年，有著創(chuàng)新的設(shè)計(jì)、強(qiáng)大的技術(shù)，還有一批獨(dú)立的專業(yè)化的隊(duì)伍，確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務(wù)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)憑借創(chuàng)新的產(chǎn)品、專業(yè)的服務(wù)、眾多的成功案例積累起來(lái)的聲譽(yù)和口碑，讓企業(yè)發(fā)展再上新高。