NanoX-8000輪廓儀的自動化系統(tǒng)主要配置 :
? XY比較大行程650*650mm
? 支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸
? XY光柵分辨率 0.1um,定位精度 5um,重復精度
1um
? XY 平臺比較大移動速度:200mm/s
? Z 軸聚焦:100mm行程自動聚焦,0.1um移動步進
? 隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石
? 配置真空臺面
? 配置Barcode 掃描板邊二維碼,可自動識別產品信息
? 主設備尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H) mm
如果想要了解更加詳細的產品信息,請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司。 晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程。Nano X輪廓儀**樣機試用
三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析:
表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數(shù),無論加工的物件使用哪一種評定標準,都可以提供***的檢測結果作為評定依據(jù),可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數(shù)。
四、穩(wěn)定性強,高重復性:
儀器運用高性能內部抗震設計,不受外部環(huán)境影響測量的準確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結合,保證高重復性,將測量誤差降低到亞納米級別。
三維表面輪廓儀是精密加工領域必不可少的檢測設備,它既保障了生產加工的準確性,又提高了成品的出產效率,滿足用戶對各項2D,3D參數(shù)檢測需求的同時,依然能夠保持高重復性,高穩(wěn)定性的運行,其對精密加工所產生的的作用是舉足輕重的。 Nano X輪廓儀**樣機試用擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,**提高加工效率。
輪廓儀的性能
測量模式
移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)
樣 品 臺
150mm/200mm/300mm 樣品臺(可選配)
XY 平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,傾斜:±5°
可選手動/電動樣品臺
CCD 相機像素
標配:1280×960
視場范圍
560×750um(10×物鏡)
具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機
光學系統(tǒng)
同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)
光 源
高 效 LED
Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦(可選電動聚焦)
Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描,拓展達 10mm )
縱向分辨率 <0.1nm
RMS 重復性* 0.005nm,1σ
臺階測量** 準確度 ≤0.75%;重復性 ≤0.1%,1σ
橫向分辨率 ≥0.35um(100 倍物鏡)
檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD
輪廓儀的自動拼接功能:
條件: 被測區(qū)域明顯大于視場的區(qū)域,使用自動圖片拼接。
需要點擊自動拼接, 輪廓儀會把移動路徑上的拍圖自動拼接起來。
軟件會自適應計算路徑上移動的偏差,自動消除移動中偏差,減小誤差。
但是誤差是一定存在的。
白光輪廓儀的典型應用:
對各種產品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
輪廓儀可用于:散熱材料表面粗糙度分析(粗糙度控制),生物、醫(yī)藥新技術,微流控器件。
表面三維微觀形貌測量的意義
在生產中,表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術性能的評家具有**直接的影響,而且表面三維評定參數(shù)由于能更***,更真實的反應零件表面的特征及衡量表面的質量而越來越受到重視,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較***的評定表面質量的優(yōu)劣,進而確認加工方法的好壞以及設計要求的合理性,這樣就可以反過來通過知道加工,優(yōu)化加工工藝以及加工出高質量的表面,確保零件使用功能的實現(xiàn)。
表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通??煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主。
輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm(可擴展),Z向測量范圍比較大可達10mm。輪廓儀優(yōu)惠價格
輪廓儀可用于藍寶石拋光工藝表面粗糙度分析(粗拋與精拋比較)。Nano X輪廓儀**樣機試用
隨著時代的發(fā)展,輪廓儀也越來重要了,不少的產品檢測都需要通過輪廓儀進行檢測,***就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標測量儀器。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動。傳感器的觸針檢測測量儀表的幾何變化,并分別在X和Z方向上對其進行采樣,并將其轉換為電信號。電信號被放大和處理,然后轉換成數(shù)字信號并存儲在計算機系統(tǒng)的存儲器中。計算機以數(shù)字方式過濾原始表格的輪廓,分離表面并計算粗糙度分量,測量結果為計算符號。某個曲線的實際值及其與參考點的坐標,或放大的實際輪廓曲線。測量結果通過顯示器輸出,也可以由打印機輸出。輪廓儀應用輪廓儀***用于機械加工、汽車、摩托車、精密五金、精密工具、刀 具、模具、光學元件等行業(yè)適用于研究機構、大學、計量機構和企業(yè)計量室。在汽車,摩托車和制冷行業(yè),它可以測量活塞,活塞銷,齒輪的總線參數(shù)和汽車,摩托車和壓縮機的閥門柱塞,可以測量各種傾斜部件的參數(shù)。在軸承工業(yè)中,內護套環(huán)的密封槽的形狀(角度,倒角R,槽深,槽寬等);各種滾子軸承的滾子和套圈母線的冠部,角度和對數(shù)曲線;電機軸,圓柱銷,活塞銷,滾針軸承,圓柱滾子軸承。Nano X輪廓儀**樣機試用
岱美儀器技術服務(上海)有限公司發(fā)展規(guī)模團隊不斷壯大,現(xiàn)有一支專業(yè)技術團隊,各種專業(yè)設備齊全。在岱美儀器技術服務近多年發(fā)展歷史,公司旗下現(xiàn)有品牌岱美儀器技術服務等。我公司擁有強大的技術實力,多年來一直專注于磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】的發(fā)展和創(chuàng)新,打造高指標產品和服務。岱美儀器技術服務(上海)有限公司主營業(yè)務涵蓋磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發(fā),堅持“質量保證、良好服務、顧客滿意”的質量方針,贏得廣大客戶的支持和信賴。